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根据具体要求可以选择黄光和白光两种光源 可检测各种缺陷 如硅片 砷化镓 碳化硅
等半导体晶片及液晶基板表面的异物 划痕 抛光不均 雾状 划伤等
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更新日期
2024-09-25 - 02
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